打破国外垄断!中物院六所发布高速小型复合分子泵重大新型成果

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9月7日,四川绵阳经信息委生和熟国(绵阳)科技城工研院联合举办科技成果发布会,会上发布了中国工程物理研究院机械制造工艺研究所(中物院六所)的重大新型成果,高速小型复合分子泵成果打破了国外垄断。

据了解,高速小型复合分子泵可为仪器提高洁净车间的超高真空环境,具有抽气性能高、气氛洁净车间、可连续工作等优点。

目前,仪器专用的小型复合分子泵被国外少数公司垄断,价格高、供货周期长,严重制约了国产仪器的可持续发展。中物院六所主持攻克了无位置传感器高速永磁电机驱动、柔性转子高速稳性控制、陶瓷球轴承延寿等关键技术,研制了无位置传感器高速永磁电机控制器、粘弹性减振垫、陶瓷球油承微油润组件等关键部件,开发了DN63型、DN40型和多口型复合分子泵样机。经过第三方测试,其综合性能达到国际先进水平。在多家仪器厂家进行的运行试验,真其空度、稳定性、振动和噪声等指标也均满足应用要求。

另据介绍,本次发布的四极质量分析器、精密转台等精密组件,已具备系列化定型产品的研发生和熟产能力,实现了对国外产品的替代,累积指标优于美国等发达国家技术水平。

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